VSA系统工作原理，设备启动时，VSA鼓风机马达在真空循环方向上启动鼓风机。当压力传感器探测到最大真空设定值时，电磁阀打开（时间很短）用氧气冲洗筛塔。电磁阀关闭，鼓风机反向旋转，启动整个循环过程的压力功能。外部空气进入，穿过过滤器和消声器，鼓风机加速空气流动，经过消声器，换热器进入筛塔内。氧气未被吸附，直接通过截止阀进入缓冲罐。鼓风机反向旋转，整过循环过程的真空功能重新开始。这种真空／压力循环过程持续交替进行。而PSA系统工作原理是制氧机中两个分子筛在加压的情况下吸附氮气及杂质，氧气则被释放去一个氧气缸；当第一个分子筛罐充满氮气后，自动控制系统将压缩空气转送到另一个罐中，第一个分子筛罐中的氮气和杂质则在减压的情况下排出机外。这两个分子筛罐交替重复加压／减压过程，便能源源不断地制造出氧气，通过截止阀送到氧气储气罐中。当终端使用氧气时，氧气罐中的气压将降低，当其降低到一定的压力设定值时，制氧机自动启动，使氧压再提升至正常使用压力；当氧气压力升至最高系统压力时，制氧机自动停机。